單晶矽清洗環節用超純水設備(bèi)有哪些優勢(shì)?
單晶矽作為一種半導體材料,用於製造半導(dǎo)體設備、太陽能電(diàn)池等。無(wú)論應用於哪個行業,都要對其進行加工和清洗。超純水設備是一種高電阻率、無雜質、無導電性(xìng)的設備,可滿足單晶矽的清洗要(yào)求。
單晶(jīng)矽清洗超(chāo)純水設(shè)備采用雙反滲透和EDI拋光混床製水(shuǐ)方式。設備由(yóu)預處理係統、反滲透主機係統、離子交換混床(EDI電脫鹽係統)係統等組成。該設備有以下幾個優勢:
1.無需酸堿再生
在混床(chuáng)中,樹脂需要用化學酸和(hé)堿進行(háng)再(zài)生,而EDI消除了在床(chuáng)酸和堿再生過程(chéng)中產生的廢酸和堿的處理和繁重工作,並保護了環境。
2.出水連續穩定,操作簡單
在混床中,由於(yú)每次再生和水質的變化,操作過程變得(dé)複雜,而(ér)EDI模塊的產水過程穩定連續,水質(zhì)恒定,沒有複雜的操作程序,操作過程簡化。
3.模塊化設計(jì)
超純水(shuǐ)處(chù)理設備采用積木式結構,可(kě)根據現場高度(dù)和(hé)模塊化設計靈活構造,使(shǐ)EDI在生產過程中易於維護。
4.不需要試劑和任(rèn)何回收的(de)化學品
不需要中和劑,因為(wéi)EDI膜塊不會產(chǎn)生酸堿廢液。無(wú)需使用(yòng)任何回收的化學品進行再生,這減少了化學品運輸問題(tí),並降低了係統的運行成本。
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