電子元器件清洗用超純水設備通常是什麽工藝?
電子行業清洗對(duì)水質的要求(qiú)
微電子工業、大規模和超大規模集成電路需要大量高純度的水來清洗半成品和成品。集成電路的集成密度越高,對水質的(de)要求就越高。這也對超純水處(chù)理工藝和產品的簡單(dān)性、自動化、連續性和可持續性提出了嚴格要求。
為(wéi)了滿足用戶的需求,達到標準水質(zhì),盡可能(néng)減少各級汙染(rǎn),延長設備的使用壽命,減少操作人(rén)員的維(wéi)護工作量(liàng)。在工(gōng)藝設計中,以符合國家(jiā)自來水(shuǐ)標準的水為(wéi)源水,設置介質過(guò)濾器、活性炭(tàn)過濾器、鈉離子軟化劑和(hé)預外處理係統,RO反滲透主機係統、離子交換混床係統(FD電脫鹽係(xì)統)等。係統中的水箱配備液位控(kòng)製係統,水泵配(pèi)備壓力保護(hù)裝置、在線水質檢(jiǎn)測和控製(zhì)儀(yí)表,用電采用PLC可編程序控製器,真正實現了無人值守。同時選(xuǎn)材采用(yòng)推薦與客(kè)戶要求(qiú)相結合的方法,與其他同類產品(pǐn)相比(bǐ),超純水設備具有很好的設備可靠性。
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